第六十六章 芯片实验（2/2）

是满口答应，这不费什么事，就连晶圆都是沙子搞得，也就是耗电量比较大。

不过因为他这个厂子的特性，供电公司给他这边开出的电费基本和民用电差不多，所以其实也还算便宜。

路芒当然看不懂芯片电路。

他大概给程铭介绍了一下机器的编程方式以及使用方式，就退到一边，看程铭的表演了。

程铭看了看自己所在的无尘间，外面看起来就是个板房，他倒是没想到里面竟然是一个无尘等级这么高的实验室。

这让他对于这台机器的性能，信心大增。

他在电脑上一通操作，虽然是第一次使用，不过路芒这台机器的软件也是特意编辑的，不算复杂。

对于用过相关软件的程铭来说，还算简单。

很快，也不是很快，其实已经过了七八个小时。

路芒算是明白了为什么研究人员会得胃病了，七八个小时，程铭就没停过，也不吃饭，一直在敲键盘。

不过，终于，这加工程序还是出现在了光刻机的内存中。

晶圆被送入光刻机。

紫外光源启动，开始工作。

duv是193nm，事实上这种光源不算难弄，常用的紫外分光光度计中最低一般也可以到190nm。

而就是这台193nm的光刻机，即将让程铭欣喜万分。